近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所公布一项关键专利（CN121688524A），成功破解中红外超短脉冲激光稳定高效获取的“卡脖子”难题，引发业界高度关注。中红外（3-5 μm）超短脉冲激光是EUV光刻、前沿医疗等领域的“国之重器”，此前其大能量与高光束质量难以兼顾。
传统采用Fe:ZnSe晶体放大技术，面临微秒级泵浦光与皮秒级种子光时序匹配难、多程放大导致光束畸变两大痛点。长春光机所的专利给出全新解法，通过动态同步触发时序控制系统，在纳秒级尺度精准匹配两类光脉冲，避免能量浪费；采用主动失调虚共焦非稳腔结构，克服热透镜效应，保障光束质量。
实测显示，该技术放大后4.05μm激光光束质量接近衍射极限，输入400mJ泵浦能量时，输出单脉冲能量达1.96mJ且脉宽保持65ps，搭配双级制冷模块实现工业级稳定运行。
该专利商业价值巨大，可助力EUV光刻光源国产化，适配国内百亿级半导体设备替代需求；有望打破欧美在高端医疗激光领域的垄断，同时适配国防、航天特种加工等领域的采购需求，为我国激光产业向高端升级提供核心支撑。
