俄白联合研制130nm光刻机配套248nm准分子激光器完成测试

俄罗斯与白俄罗斯联合研制的130纳米光刻机样机配套248纳米准分子激光器已完成测试，预计年底前通过验收。

准分子激光器是深紫外光刻机的核心光源，248纳米KrF准分子激光器是目前主流DUV光刻机的关键部件。此次测试完成标志着俄白在光刻光源领域取得重要进展。

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