今天来聊一个,对于大部分入行机器视觉不深的朋友来说,相对比较陌生的一项技术自动对焦(Auto Focus, AF),但在工业检测的某些特定场景下,它也是解决“成像模糊”的唯一救星。自动对焦(Auto Focus, AF)的本质,是相机通过自动调整镜头与成像传感器之间的距离,使被摄物体在传感器上形成最清晰影像的过程。但是,由于其硬件成本的原因,一般在工业微观缺陷检测领域应用较多,它通过实时、精准地调整成像焦点,克服了传统方法在应对复杂产品时的局限。
目前,工业微观检测中的自动对焦技术主要分为两种:激光主动对焦与图像被动对焦。
激光主动对焦
该技术通过向样品表面发射激光,并分析反射信号来计算物镜与样品的距离偏差,从而驱动对焦模块进行调整。利用共轴或斜射的激光束,通过分析光斑形态、相位差或飞行时间等信息,精确测量距离。响应速度极快(可达kHz级别),精度高,尤其擅长处理高反光(如镜面金属)、透明(如玻璃基板)或具有复杂三维形貌(如深孔、斜面)的表面。镜面/高反光表面:采用抗反射激光传感器,可有效过滤干扰光,实现对金属工件段差的精确测量。透明/多层材料:利用多波长激光或相位分析技术,可以区分并分别聚焦于玻璃基板的上下表面或复合材料的不同层,实现厚度测量和内部缺陷检测。深孔/斜面:结合长工作距物镜和倾斜激光入射,能稳定地对深孔内部或倾斜表面进行对焦。图像被动对焦
该技术直接利用相机采集的图像信息,通过算法分析图像的清晰度来寻找最佳焦点。
基于对比度分析、相位检测等高速图像处理算法,评价图像的清晰程度,并驱动镜头移动至对比度最高的位置。高对比度图案表面:在晶圆线路等具有清晰边缘和图案的表面上,能实现亚微米级的对焦精度。智能景深融合:对于芯片PIN角、连接器等本身具有高低差的立体产品,系统可快速拍摄多张不同焦平面的图像,并通过算法融合成一张所有区域都清晰的“全景深”图像,实现单次拍摄、全面检测。通过初步的了结,后面在视觉项目中,遇到类似的应用场景,可以有所参考。相关的技术,不同的设备供应商会有所区别,高精度的一般都是国外厂商比如基恩士等,国内厂商的在速度或是精度上,不能兼得。