在5G通信与AI算力中心爆发的当下,光模块的核心“心脏”——分布式反馈(DFB)激光器正面临着功耗和良率的极致考验。近日,成都鸿辰光子半导体科技有限公司公布了一项硬核专利(申请号:CN202610216835.3),通过巧妙的“扩Zn处理+薄金层”工艺,一举攻克了掩埋异质结(BH)制备中的多项行业痛点,标志着国产高端光芯片在工艺量产上迈出了坚实的一步。
随着数据中心、5G承载网向更高速率(800G/1.6T)演进,对激光器的功耗和效率要求愈发严苛。传统的掩埋异质结(BH)结构虽然能限制载流子和光场,但要进一步降低阈值电流却极其困难。 以往的解决思路多是在“外延生长阶段”对外延结构(如量子阱)动刀子。但这种做法工艺容限极窄,微小的波动就会导致良率暴跌(行业良率普遍低于80%),且改动核心发光区极易引发模式不稳定等连锁风险,成为了悬在光芯片厂商头顶的“紧箍咒”。 成都鸿辰光子的该项发明专利(CN 121726836 A)跳出了“死磕外延生长”的传统怪圈,将优化的战场转移到了“全外延完成后的后段工艺”,大幅提升了工艺的自由度。01 行业痛点:传统工艺的“紧箍咒”

02 专利揭秘:四两拨千斤的“神仙工艺”











